作为一鸣集团公司的重点项目，这台国产光刻机的主机系🕬🌫统总装调试完成以后，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目负责人胡明镇是不会立即做📆😧光刻😕🁐机总调试验的。
但今天上午的🔸🅖光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出🜮🅣🈕现问题，逻辑上怎么也解释不清楚。
带着这种疑问，万宁古陪🔷🅐着🃵🜈许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁🔇⚈边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻🌬🂌🍚机主机系📖统完成一次模拟光刻执行程序以后，监🗇视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机系统重复精度小于0.001🎆毫米，数据🗇正🜮🅣🈕常。”
“报告万总，主机系统的震动量误差都在量🟀🚂级以内，不会对光刻程序造成🆋🍼影响。”
“报告万总，🔸🅖主机系统的功率输出🄺一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有🕬🌫出现异常情况。”
“……”
技术员们非常专注，每出🔷🅐现一个数据就会把情况如实汇🄳报。
通过他们一番比对下来⛜，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生🔇⚈变化。这事有点😈⛂蹊跷了！
另一边😳🅝，郝🌬🂌🍚宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正🆋🍼常。
不但如此，他们🀦已🉥经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问🔆题，性能非常稳定。
看到这一幕，🔸🅖梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常🈻🃠，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”